我厂生产的高温退火炉，结构合理、操作维护方便;炉子隔热、保温性能良好，热效率高、节能显明;升温快、炉温均匀、稳定性好;工作室气密性能好，处理工件达到了无氧化、不脱碳的成果;自动化程度高、功能全、测控准确、精度高;保护安全生产的设施完善、报警功能全，生产安全;噪声小、没损害气体、无粉尘污染环境，工作条件好。我厂所生产的退火炉设备在出厂前均会进行检测，合格后方可投入市场。

　　该高温退火炉主要由真空系统、高温加热系统、磁体系统和冷却系统4部分组成。

　　1、真空系统：

　　真空系统采用TRP-12直联机械真空泵与F110涡轮分子泵两级串联，室温下本底真空度可达到5×10-5Pa。

　　2、高温加热系统：

　　高温退火炉采用铂丝发热体，单铂铑热电偶测温。样品台、发热体以及热电偶置于双层陶瓷保温层之中，可以保障炉体中心达到较高的温度，并能实现温度的速度上升。样品台是由钢制成的15mm×45mm×100mm长方体容器，可达到常规薄膜样品的退火要求。铂丝发热体均匀缠绕在长方体容器周围，热电偶置于长方体容器的上方，可保障测温的准确性。控温部分利用FP93可编程PID调节器，配用PACI5P-01A单相晶闸管移相触发板，可以实现4段编程，每段10步，可以达到复杂退火条件的设置要求。

　　3、磁体部分：

　　磁场采用固定双线圈及全波∏型整流，通过调压、调流方式控制磁场强度，磁场线圈电流由数显5位直流电流表显示。长时间使用时，较大磁场强度为500奥斯特，短时间使用之时磁场强度可达900奥斯特。

　　4、冷却部分：

　　高温退火炉的冷却部分使用水冷和风冷相结合的方式，当炉内温度高于40℃或磁场电流大于2.5A时，可通入冷却水冷却。