高温退火炉冷却控制与安全联锁的讲解

　　本文我们来聊聊高温退火炉的冷却控制与安全联锁，以是详细介绍：

　　一、冷却控制：

　　1、带加热罩的冷却：

　　如果气密性测试成功且退火周期已结束，若已预先设定需要进行的控制冷却，则可开始用仍然设置于炉台上的加热罩进行控制冷却。

　　加热罩烧嘴带开/关循环控制点火，依据不同的材质选择既定的退火曲线进行冷却。在这种冷却方式中，关闭煤气阀，一个个地打开空气阀，可以用较大的助燃空气流量进行冷却。

　　2、利用冷却罩冷却：

　　内罩辐射冷却以后，设置冷却罩。一旦插上冷却罩的电气连接插头，两台冷却空气风机自动开启。当入口阀门打开时，炉缸空气循环风机以低速重新启动，几分钟后切换到高速运行。在达到预设的冷却温度之前，停止喷雾冷却，关闭入口阀并打开排放阀。进气阀关闭后，冷却风机将重新启动，以除去内盖表面的残余水分。

　　另外，带冷却罩的冷却方式包括液氮冷却（控制过程同上）和以气体或水为工质的换热器旁路冷却。

　　二、安全联锁：

　　高温退火炉因为用氢气作保护气氛，所以安全联锁在控制中显得相当重要。氢气阀泄漏、炉台/内罩系统不密封和炉膛气氛中氧的含量过高是三种严重影响到生产安全的情况。针对这三种情况，需要设计一系列安全联锁控制:

　　1、在开始每个退火过程前测试整体控制器和变送器的功能并将氢气阀进行密封测试。

　　2、在退火过程开始和过程中测试炉膛和公辅管道的密封性能。

　　3、在氮气替换空气过程中测量吹扫量和吹扫时间，监控炉氛中氧含量。

　　4、在氢气吹扫时，监控炉内气氛中的氧含量。

　　5、在加热罩移走前对炉膛进行热密封测试。

　　如在上述监测中发现高温退火炉有故障，则报警并锁死后面的控制步骤，采取措施进行氮气紧急事故吹扫等等。