真空台车退火炉的安装调试过程

　　一、真空室安装：

　　台车退火炉的真空室质量大、长度长，在安装之时需在炉体的支撑座下面加装垫铁进行调节，调节炉体之时需注意炉里面料架导轨水平的平行度，真空抽口法兰平面的垂直度，如此才能保持台车炉外进出料机构上料架导轨和炉内导轨对齐、7套真空系统能够正常安装并对齐。

　　二、进出料机构安装：

　　该系统进出料机构主要由送料台车、滚轮排、料框组成，其中料框在滚轮排上可随滚轮排前进、后退，滚轮排在送料台车上，台车框架下设有滚轮，沿铺设于地面的两条轻轨滚动。所以两条轻轨的安装对整个进出料系统有重要的影响。按照设计标准铺设完轻轨后，轻轨的平行度、平面度都达到了要求，但现场发现由于台车滚轮比较小在轻轨接缝的地方容易磕碰，所以在接缝地方两条轻轨做了相互切除60°斜角的处理，所以滚轮运行就比较平稳了。

　　三、系统真空检漏：

　　在台车退火炉系统安装完成后，进行了系统预抽真空试验，按照设计计算，当罗茨泵开到15min后，管道和炉内真空应能到10?Pa或者能够达到6x10Pa，但是当罗茨泵开到1h后，炉内与管道内真空仍停留在5Pa，所以初步判断此系统在某个地方存有微漏的情况。但退火炉系统存有的节点过多，需判断的点也较多，因此在现场运用了分块化的真空检漏，先从简单的地方开始然后再到复杂的地方。

　　先是对7套真空系统进行了真空检漏，于罗茨泵上面装设了氦质谱的检漏仪，漏率设置为1x10"Pa·m/，运用探针依次从远到近对节点进行喷氦气，当检到中间1套真空机组时，在罗茨泵上方波纹管法兰与罗茨泵接口处喷氦气，检漏仪出现了报警，所以初步判断该处存在漏点但该处的疑点有2个，一处是法兰密封不严，再是波纹管的焊接有问题，因此把波纹管拆下来单独进行了检漏，未发现问题而后对0型的密封圈进行了检测，发现密封圈的上面有一较深的压痕，在替换了密封圈再加以抽真空，整个系统的真空度达到了5×10'Pa，没有达到10?Pa等别。

　　末后对真空台车退火炉系统进行了加热烘烤处理，开罗茨泵后系统真空度达到了4.7×10?Pa越过了预想程度。