浅谈台车退火炉系统的总体组成

　　根据相关方案分析与研究，确定台车退火炉系统采用灯光辐射型热源加热硅片，硅片表面温度测量采用单点测温方式，确定了系统总体结构设计方案。方案具有占地面积小、结构紧凑、高度自动化等优点。该退火炉系统的总体结构主要组成如下∶

　　①热源与强度反应腔体∶由加热系统、石英腔体与石英托片架、炉门机构等组成，加热系统采用灯管辐射、分区加热与控制方式。石英腔体与反应腔体的前后金属法兰构成密闭的反应室，石英托片架安装在反应室内，硅片工艺处理时被机械手安放在托片架三个顶针上。

　　②硅片传送系统∶由精度较高的工业机械手、冷却台、装/卸片台等组成。为越佳的控制系统内部的颗粒，在硅片传送区域区配置效率较高的过滤器。

　　③温度测量系统∶台车退火炉中的该系统采用了两个高温计测量，其中一个测量硅片的温度，一个测量环境温度。

　　④工艺气体系统∶采用精度较高的数字质量流量计，可以正确的控制工艺气体的流量，同时配置多路可选择的工艺气体，增加工艺的灵活性。

　　⑤冷却系统∶包括水冷系统和气冷系统两个部分。

　　⑥气动系统∶由气动阀、电磁阀及流量开关等组成。为驱动汽缸、阀门等提供气源。

　　⑦控制系统∶采用一台工业控制PC作为控制器，实现快捷退火系统各部分功能及工艺过程的全自动控制。控制软件系统具有简洁的工艺监测、编辑系统维护界面、下拉菜单功能、友好的图形用户界面。该台车退火炉系统具备实时数据采集、状态参数显示、系统故障自诊断及故障报警等功能。