高温退火炉系统的各构件设计

　　高温退火炉的控制系统运行可靠、稳定、操作方便、控制精度高、实时性好、抗干扰能力强，具有良好的发展前景。退火炉系统各部件的设计如下：

　　1、温度控制系统硬件结构：

　　温度控制系统共有6个K分度控制耦合输入、6个K转位工件耦合输入、1个4-20mA真空测量输入、6种4-20mA控制输出和I开关值控制输出。它采用了很好的分布式控制系统。

　　2、控制系统的软件结构：

　　控制系统的软件结构主要由以下部分组成：真空机组控制程序、加热控制程序、强制冷却控制程序等。

　　3、真空单元控制程序：

　　真空机组控制程序负责六台K-600机组的顺序控制。先对机组的扩散泵进行预热，然后控制机组对退火炉体进行粗抽。当炉体的真空度小于2Pa时，关闭粗抽阀，打开高真空阀。在高温退火炉运行过程中，如果发生报警，及时进行处理。

　　4、炉膛加热控制程序：

　　炉膛加热控制程序负责控制6台炉膛加热器的温度曲线，先确定炉膛内的真空度是否小于5×103Pa，是，然后启动加热主回路；不，那就等一下。在控制过程中，如果发生报警，应及时处理。

　　5、强冷却控制程序：

　　强冷却控制程序先确定加热温度控制曲线程序是否已经结束，然后确定是否已经达到强冷却温度点。如果是，打开并回填强冷却系统；如果没有，请等待。回填强冷却系统开启后，确定是否已达到强冷却终点。如果是，则结束该过程。如果没有，请等待。

　　6、编程软件设计：

　　程序设计体现了流程图的思想，并以特定的语言和方法实现。在程序设计中，采用梯形图和结构化文本语言相结合的方法，实现了对高温退火炉的良好控制。