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高温退火炉系统中各构件的认识
据悉,有研究人员实践结果证明,大型高温退火炉采用PIC加DCS控制系统具有运行牢靠、稳定、操作方便、控制精度高、实时特性好、耐干扰能力强,具有良好的发展前景。其该退火炉系统各构件的设计如下:
一、温度控制系统的硬件结构:
温度控制系统共有6路K分度控制偶输入、6路K分度工件偶输入、1路4-20mA真空度测量输入,6路4~20mA控制输出,I路开关量控制输出,采用优良的集散控制系统。
二、控制系统的软件结构:
控制系统的软件结构主要由以下几大部分组成:真空机组控制程序、加热控制程序、强冷控制程序等组成。
三、真空机组控制程序:
真空机组控制程序负责对6套K-600机组的顺序控制,先对机组的扩散泵预热,然后控制机组对高温退火炉的炉体进行粗抽,当炉体真空度小于2Pa时,关闭粗抽阀门,打开高真空阀门,在控制过程中,若有报警发生,及时进行报警处理。
四、炉体加热控制程序:
炉体加热控制程序负责对6组炉内加热器进行温度的曲线控制,先判断炉内真空度是否小于5×103Pa,YES,则启动加热主回路;NO,则等待。在控制过程中,若有报警发生,及时进行报警处理。
五、强冷控制程序:
强冷控制程序先判断加热控温曲线程序是否结束,然后判断是否达到强冷温度点,若是,则打开回填强冷系统;若否,则等待。回填强冷系统打开以后,判断是否达到强冷结束点,若是,则结束工艺过程,若否,则等待。
六、程序软件设计:
程序设计体现流程图的思路,并用具体的语言和方式实现,在这个程序设计中,运用了梯形图与结构化文本语言相结合的方式编程,达到了高温退火炉良好的控制作用。
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